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邁克爾遜干涉儀(英文:Michelson interferometer)是光學(xué)干涉儀中最常見的一種,其發(fā)明者是美國物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來,因為這兩束光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn),從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡,因此,要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加,形成新的波形的現(xiàn)象。常熟銷售雙頻激光干涉儀性價比
這種無規(guī)則的變化較難通過觸發(fā)電平的自動調(diào)整來補(bǔ)償,因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍,只有設(shè)法用交流測量系統(tǒng)代替直流測量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點,它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器,所不同者,一方面是當(dāng)可動棱鏡不動時,前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平,而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號;常熟銷售雙頻激光干涉儀性價比光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。
5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動 時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。 2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和**混合液輕拭。3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng)。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測量的儀器。
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,由電子計算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、機(jī)械工程、光學(xué)測量、精密制造等領(lǐng)域。常熟銷售雙頻激光干涉儀性價比
用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。常熟銷售雙頻激光干涉儀性價比
工程測量:用于高精度的長度測量和地形測量。波譜分析:用于分析光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)。量子物理實驗:用于研究量子光學(xué)、原子物理學(xué)等領(lǐng)域的物理現(xiàn)象。五、發(fā)展歷史與現(xiàn)狀19世紀(jì)的波動論者認(rèn)為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播,這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性,以干涉原理為基礎(chǔ)的實驗**為精確,其中**有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。隨著激光器的發(fā)展,干涉儀開始使用激光作為光源,提高了測量的精度和穩(wěn)定性。到了20世紀(jì)70年代以后,隨著計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,將激光干涉儀和電子計算機(jī)綜合起來的許多新的干涉儀,可以實現(xiàn)實時測量。目前,干涉儀已經(jīng)成為一種重要的精密測量工具,在各個領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。常熟銷售雙頻激光干涉儀性價比
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