分子泵軸承的低溫工況適應(yīng)性:在低溫真空環(huán)境(-196℃至 0℃)中,軸承材料的低溫脆性是關(guān)鍵挑戰(zhàn)。新巴頓選用 AISI 440C 不銹鋼(-196℃時沖擊功≥15J)制造套圈,配合聚四氟乙烯(PTFE)保持架,在液氦冷卻的分子泵中仍保持良好韌性。潤滑方面采用全氟聚醚(PFPE)低溫脂(傾點(diǎn) - 60℃),其粘度指數(shù)>400,在 - 150℃時仍具有流動潤滑能力。某超導(dǎo)磁體系統(tǒng)用分子泵采用該方案后,在 - 180℃工況下連續(xù)運(yùn)行 3000 小時,軸承摩擦系數(shù)穩(wěn)定在 0.015-0.02 之間。采用耐腐蝕合金,新巴頓分子泵軸承無懼惡劣工況,穩(wěn)定持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。南京C105HY14 分子泵軸承
推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動不超過 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。巴頓C38SST5G33分子泵軸承代理商巴頓分子泵軸承:高性能分子泵軸承,助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。
成本控制優(yōu)勢:國產(chǎn)化與規(guī)模效應(yīng)雙驅(qū)動,新巴頓通過整合國內(nèi)高質(zhì)供應(yīng)鏈,實(shí)現(xiàn)陶瓷球(圓度誤差<0.05μm)和軸承鋼(氧含量<8ppm)的國產(chǎn)化替代,相比進(jìn)口產(chǎn)品,成本降低了 35% 。同時,憑借規(guī)?;a(chǎn)優(yōu)勢,進(jìn)一步攤薄生產(chǎn)成本。在保持 Dm?N 值(1.6×10?mm?r/min)等主要性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平的前提下,產(chǎn)品價(jià)格更具競爭力。某國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商采用新巴頓軸承后,單臺分子泵系統(tǒng)的成本降低了 18 萬元,國產(chǎn)化率從 25% 提升至 85%,有效推動了國內(nèi)真空設(shè)備行業(yè)的自主發(fā)展。
新巴頓分子泵軸承的高速性能經(jīng)過嚴(yán)格的動力學(xué)驗(yàn)證。對于角接觸軸承(7004C),極限轉(zhuǎn)速可達(dá) 60000rpm(脂潤滑),此時 dmn 值(軸承內(nèi)徑 × 轉(zhuǎn)速 / 1000)達(dá) 2.4×10?mm?rpm,超過行業(yè)平均水平 15%。通過高速試驗(yàn)機(jī)測試(轉(zhuǎn)速從 0 升至額定轉(zhuǎn)速,升溫速率≤2℃/min),軸承在極限轉(zhuǎn)速下的溫升≤30℃,振動加速度≤3m/s2,確保機(jī)械系統(tǒng)在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時的穩(wěn)定性。在機(jī)械動力學(xué)分析中,采用傳遞矩陣法計(jì)算軸承 - 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的臨界轉(zhuǎn)速,通過優(yōu)化軸承跨距與剛度,使一階臨界轉(zhuǎn)速避開工作轉(zhuǎn)速 ±15%,避免共振導(dǎo)致的機(jī)械故障。全流程質(zhì)量控制,新巴頓分子泵軸承確保機(jī)械應(yīng)用的可靠性。
響應(yīng)機(jī)械行業(yè)的環(huán)保要求,新巴頓分子泵軸承采用綠色制造工藝。熱處理工序使用真空淬火(無油煙排放),能耗較傳統(tǒng)鹽浴淬火降低 40%;包裝材料采用可降解塑料(降解率≥90%),減少白色污染。軸承潤滑脂采用生物基合成油(如聚 α- 烯烴 PAO),廢棄后可自然降解,符合歐盟 REACH 法規(guī)(SVHC 清單≤0.1%)。在工程機(jī)械的真空吸塵設(shè)備中,這種環(huán)保設(shè)計(jì)使整機(jī)的 EcoVadis 評級提升至銀級,滿足客戶的 ESG 合規(guī)需求,助力機(jī)械行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。新巴頓分子泵軸承解決用戶難題,提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。巴頓VAC625AC002分子泵軸承銷售
巴頓分子泵軸承:智能預(yù)警系統(tǒng),預(yù)防突發(fā)故障。南京C105HY14 分子泵軸承
新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。南京C105HY14 分子泵軸承