英特爾高級研究員兼技術(shù)和制造部先進(jìn)光刻技術(shù)總監(jiān)YanBorodovsky在去年說過“針對未來的IC設(shè)計,我認(rèn)為正確的方向是具有互補性的光刻技術(shù)。193納米光刻是當(dāng)前能力**強且**成熟的技術(shù),能夠滿足精確度和成本要求,但缺點是分辨率低。利用一種新技術(shù)作為193...
2019年荷蘭阿斯麥公司推出新一代極紫外光刻系統(tǒng),**了當(dāng)今**的第五代光刻系統(tǒng),可望將摩爾定律物理極限推向新的高度 [5]。中國工程院《Engineering》期刊于2021年組建跨學(xué)科評選委員會,通過全球**提名、公眾問卷等多階段評審,選定近五年內(nèi)完成且具...
決定光刻膠涂膠厚度的關(guān)鍵參數(shù):光刻膠的黏度(Viscosity),黏度越低,光刻膠的厚度越薄;旋轉(zhuǎn)速度,速度越快,厚度越?。挥绊懝饪棠z均勻性的參數(shù):旋轉(zhuǎn)加速度,加速越快越均勻;與旋轉(zhuǎn)加速的時間點有關(guān)。一般旋涂光刻膠的厚度與曝光的光源波長有關(guān)(因為不同級別的曝光...
以適用于35毫米單鏡頭反光照相機(jī)的交換鏡頭為例,標(biāo)準(zhǔn)鏡頭通常是指焦距在40至55毫米之間的攝影鏡頭,它是所有鏡頭中**基本的一種攝影鏡頭。 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭給人以記實性的視覺效果畫面,所以在實際的拍攝中,它的使用頻率是較高的。但是,從另一方面看,由于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的畫面效果...
用廣角鏡頭拍攝的畫面。能在突出**主體和前景的同時,能有***的背景??梢栽谳^小的環(huán)境里,拍到較多的景物,在相同的拍攝距離時,得到的景象比用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭拍攝的要小。當(dāng)拍攝較近的景物時,會產(chǎn)生******變形,還會使前后景物之間的距離感增大。由于它的景深長,很容易把...
魚眼鏡頭通常采用內(nèi)置濾光鏡的方式,根據(jù)拍攝需要,由攝影者操縱鏡頭上的濾光鏡轉(zhuǎn)換環(huán),使需要的濾光鏡轉(zhuǎn)換至鏡頭的攝影光路中。魚眼鏡頭的前鏡片是整個鏡頭中相當(dāng)重要的鏡片,由于它向鏡頭前部拋出,故攝影者在拍攝操作(尤其是湊近被攝物拍攝)時要特別注意不要碰撞鏡片。另外,...
電子束光刻基本上分兩大類,一類是大生產(chǎn)光掩模版制造的電子束曝光系統(tǒng),另一類是直接在基片上直寫納米級圖形的電子束光刻系統(tǒng)。電子束光刻技術(shù)起源于掃描電鏡,**早由德意志聯(lián)邦共和國杜平根大學(xué)的G.Mollenstedt等人在20世紀(jì)60年代提出。電子束曝光的波長取決...
***,安提基特拉機(jī)械前方面板是現(xiàn)代天文年鑒的前身(Parapegma),可以設(shè)定標(biāo)記特定恒星的升起。一般認(rèn)為每顆恒星都以機(jī)械上一個希臘文字母做標(biāo)記。在機(jī)械后面上方的轉(zhuǎn)盤是螺旋形,每次旋轉(zhuǎn)分成47個部分,**19年或235個朔望月的默冬章。該循環(huán)對于歷法修正很...
目 前EUV技 術(shù) 采 用 的 曝 光 波 長 為13.5nm,由于其具有如此短的波長,所有光刻中不需要再使用光學(xué)鄰近效應(yīng)校正(OPC)技術(shù),因而它可以把光刻技術(shù)擴(kuò)展到32nm以下技術(shù)節(jié)點。2009年9月Intel*** 次 向 世 人 展 示 了22 nm工...
42、始用擋料銷(板)始用擋料銷(板)是供材料起始端部送進(jìn)時定位用的零件。始用擋料銷(板)都是移動式的。43、拼塊塊是組成一個完整凹模、凸模、卸料板或固定板等的各個拼合零件。44、擋塊(板)擋塊(板)是供經(jīng)側(cè)刃切出缺口的材料送進(jìn)時定位用的淬硬零件,兼用以平衡側(cè)...
更精確的齒輪齒數(shù)此時也已得知,因此可進(jìn)一步發(fā)展新的齒輪配置模式。更正確的資訊允許萊特可以確認(rèn)普萊斯建議的后方面板的上方轉(zhuǎn)盤是顯示235個朔望月,分成五個旋轉(zhuǎn)量度的默冬章。此外,萊特還提出了驚人的看法,他認(rèn)為儀器后面的上方轉(zhuǎn)盤是每次旋轉(zhuǎn)包含47個部分,總共五個旋...
放大率問題:光學(xué)鏡頭放大率問題,很多客戶可能對鏡頭放大率不了解或者認(rèn)識不多,所以造成了對鏡頭使用的錯誤操作或者選購不到合適的鏡頭,因此,普密斯光學(xué)針對這一問題進(jìn)行專業(yè)的講述,希望可以幫助大家更好的理解鏡頭參數(shù)問題。放 大 率 光學(xué)放大率影像大小相對于物體的放大...
由英國、希臘和美國**組成的安提基特拉機(jī)械研究計劃成員于2008年7月時,在機(jī)械上的一個青銅轉(zhuǎn)盤發(fā)現(xiàn)了一個字 "Olympia",相信是用來指示卡利巴斯周期(Callippic cycle);另外也發(fā)現(xiàn)了其他古希臘競賽的名字,因此這可能是用來追蹤古代奧林匹克運...
所有實際電子束曝光、顯影后圖形的邊緣要往外擴(kuò)展,這就是所謂的“電子束鄰近效應(yīng)。同時,半導(dǎo)體基片上如果有絕緣的介質(zhì)膜,電子通過它時也會產(chǎn)生一定量的電荷積累,這些積累的電荷同樣會排斥后續(xù)曝光的電子,產(chǎn)生偏移,而不導(dǎo)電的絕緣體(如玻璃片)肯定不能采用電子束曝光。還有...
制造掩模版,比較靈活。但由于其曝光效率低,主要用于實驗室小樣品納米制造。而電子束曝光要適應(yīng)大批量生產(chǎn),如何進(jìn)一步提高曝光速度是個難題。為了解決電子束光刻的效率問題,通常將其與其他光刻技術(shù)配合使用。例如為解決曝光效率問題,通常采用電子束光刻與光學(xué)光刻進(jìn)行匹配與混...
11、導(dǎo)柱導(dǎo)柱是為上、下模座相對運動提供精密導(dǎo)向的圓柱形零件,多數(shù)固定在下模座,與固定在上模座的導(dǎo)套配合使用。12、導(dǎo)正銷導(dǎo)正銷是伸入材料孔中導(dǎo)正其在凹模內(nèi)位置的銷形零件。13、導(dǎo)板模導(dǎo)板模是以導(dǎo)板作導(dǎo)向的沖模,模具使用時凸模不脫離導(dǎo)板。14、導(dǎo)料板導(dǎo)料板是引...
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。在光刻工藝過程中,用作抗腐蝕涂層材料。半導(dǎo)體材料在表面加工時...
集成電路制造中利用光學(xué)- 化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個數(shù)量級(從毫米級到亞微米級),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、...
能強調(diào)前景和突出遠(yuǎn)近對比。這是廣角鏡頭的另一個重要性能。所謂強調(diào)前景和突出遠(yuǎn)近對比,是指廣角鏡頭能比其他鏡頭更加強調(diào)近大遠(yuǎn)小的對比度。也就是說,用廣角鏡頭拍出來的照片,近的東西更大,遠(yuǎn)的東西更小,從而讓人感到拉開了距離,在縱深方向上產(chǎn)生強烈的******效果。...
廣角鏡頭是一種焦距短于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、視角大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、焦距長于魚眼鏡頭、視角小于魚眼鏡頭的攝影鏡頭。廣角鏡頭又分為普通廣角鏡頭和超廣角鏡頭兩種。普通廣角鏡頭的焦距一般為38-24毫米,視角為60-84度;超廣角鏡頭的焦距為20-13毫米,視角為94-118度。由于...
能強調(diào)前景和突出遠(yuǎn)近對比。這是廣角鏡頭的另一個重要性能。所謂強調(diào)前景和突出遠(yuǎn)近對比,是指廣角鏡頭能比其他鏡頭更加強調(diào)近大遠(yuǎn)小的對比度。也就是說,用廣角鏡頭拍出來的照片,近的東西更大,遠(yuǎn)的東西更小,從而讓人感到拉開了距離,在縱深方向上產(chǎn)生強烈的******效果。...
光學(xué)鏡頭是機(jī)器視覺系統(tǒng)中必不可少的部件,直接影響成像質(zhì)量的優(yōu)劣,影響算法的實現(xiàn)和效果。光學(xué)鏡頭從焦距上可分為短焦鏡頭、中焦鏡頭,長焦鏡頭;從視場大小分為廣角、標(biāo)準(zhǔn),遠(yuǎn)攝鏡頭;從結(jié)構(gòu)上分為固定光圈定焦鏡頭,手動光圈定焦鏡頭,自動光圈定焦鏡頭,手動變焦鏡頭、自動變...
● 儀表盤面為MPa刻度值直接讀取● 精度等級0.25% 0.4%● 雙層鏡面表盤● 設(shè)有度盤調(diào)零裝置● 鐵噴塑表殼● 銅合金內(nèi)機(jī)部件● 測量范圍-0.1至60MPa 外型尺寸示意圖精密壓力表的測量范圍分類:1.微壓表(指儀表測量上限值小于0.1MPa的儀表)...
2、廣角鏡頭使用遮光罩或濾色鏡時,很容易遮擋鏡頭視角的周圍,使像場發(fā)暗,而這一情況,在取景時不容易察覺,但在照片上卻很明顯。因此,運用附件時, 一定要從說明書上了解清楚它們的使用范圍。如果說明書中沒有說明,拍攝時就要加倍小心。3、電子閃光燈閃光涵蓋角一般與13...
2006年時,萊特完成了他相信幾乎正確的復(fù)制品。萊特和安提基特拉機(jī)械研究計劃成員仍同時進(jìn)行安提基特拉機(jī)械的研究。萊特稍微修改他的模型,引進(jìn)了計劃團(tuán)隊建議的針狀和槽狀嚙合齒輪,這更精確模擬了月球的角速度異常變化。2007年3月6日他在希臘的雅典國家考古博物館展示...
EUV光刻系統(tǒng)的發(fā)展歷經(jīng)應(yīng)用基礎(chǔ)研究至量產(chǎn)四個階段,其突破得益于多元主體協(xié)同創(chuàng)新和全產(chǎn)業(yè)鏈資源整合 [3]。截至2024年12月,EUV技術(shù)已應(yīng)用于2nm芯片量產(chǎn),但仍需優(yōu)化光源和光刻膠性能。下一代技術(shù)如納米壓印和定向自組裝正在研發(fā)中 [6]。**光刻系統(tǒng)主要...
主要技術(shù)指標(biāo):○精密壓力表測量范圍、精確度等級○型號、彈簧管材料、測量范圍MPa、精確度等級、結(jié)構(gòu)特點○精密壓力表使用環(huán)境條件:5~40℃,相對濕度不大于80%,且環(huán)境震動和壓力源的波動對儀表的精確讀數(shù)無影響?!鹁軌毫Ρ頊囟扔绊懀菏褂铆h(huán)境溫度如偏離20±3℃...
22、壓料檻壓料檻是斷面呈矩形的壓料筋特稱。參閱“壓料筋”。23、承料板承料板是用于接長凹模上平面,承托沖壓材料的板狀零件。24、連續(xù)模連續(xù)模是具有兩個或更多工位的沖模,材料隨壓力機(jī)行程逐次送進(jìn)一工位,從而使沖件逐步成形。25、側(cè)刃側(cè)刃是在條(帶、卷)料側(cè)面切...
現(xiàn)代學(xué)者的共識是該機(jī)械是在希臘語使用區(qū)域制造,所有機(jī)械上組件的文字都是通用希臘語。一種假說認(rèn)為,該機(jī)械是在希臘當(dāng)時的天文和機(jī)械工程中心羅德島上的斯多亞學(xué)派學(xué)者波希多尼制造,而天文學(xué)家喜帕恰斯參與了設(shè)計,因為該機(jī)械采用了喜帕恰斯的月球運動理論。但由安提基特拉機(jī)械...
浸沒式光刻技術(shù)所面臨的挑戰(zhàn)主要有:如何解決曝光中產(chǎn)生的氣泡和污染等缺陷的問題;研發(fā)和水具有良好的兼容性且折射率大于1.8的光刻膠的問題;研發(fā)折射率較大的光學(xué)鏡頭材料和浸沒液體材料;以 及 有 效 數(shù) 值 孔 徑NA值 的 拓 展 等 問題。針 對 這 些 難 ...