電激勵(lì)的參數(shù)設(shè)置對(duì)鎖相熱成像系統(tǒng)在電子產(chǎn)業(yè)的檢測(cè)效果有著決定性的影響,需要根據(jù)不同的檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行精細(xì)調(diào)控。電流大小的選擇尤為關(guān)鍵,必須嚴(yán)格適配電子元件的額定耐流值。如果電流過(guò)小,產(chǎn)生的熱量不足以激發(fā)明顯的溫度響應(yīng),系統(tǒng)將難以捕捉到缺陷信號(hào);
而電流過(guò)大則可能導(dǎo)致元件過(guò)熱損壞,造成不必要的損失。頻率的選擇同樣不容忽視,高頻電激勵(lì)產(chǎn)生的熱量主要集中在元件表面,適合檢測(cè)表層的焊接缺陷、線(xiàn)路斷路等問(wèn)題;低頻電激勵(lì)則能使熱量滲透到元件內(nèi)部,可有效探測(cè)深層的結(jié)構(gòu)缺陷,如芯片內(nèi)部的晶格缺陷。在檢測(cè)復(fù)雜的集成電路時(shí),技術(shù)人員往往需要通過(guò)多次試驗(yàn),確定比較好的電流和頻率參數(shù)組合,以確保系統(tǒng)能夠清晰區(qū)分正常區(qū)域和缺陷區(qū)域的溫度信號(hào),從而保障檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。例如,在檢測(cè)高精度的傳感器芯片時(shí),通常會(huì)采用低電流、多頻率的電激勵(lì)方式,以避免對(duì)芯片的敏感元件造成干擾。 檢測(cè)速度快,但鎖相熱紅外電激勵(lì)成像所得的位相圖不受物體表面情況影響,對(duì)深層缺陷檢測(cè)效果更好。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設(shè)備制造
致晟光電的一體化檢測(cè)設(shè)備,不僅是技術(shù)的集成,更是對(duì)半導(dǎo)體失效分析邏輯的重構(gòu)。它讓 “微觀觀測(cè)” 與 “微弱信號(hào)檢測(cè)” 不再是選擇題,而是能同時(shí)實(shí)現(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn)配置。在國(guó)產(chǎn)替代加速推進(jìn)的背景下,這類(lèi)自主研發(fā)的失效分析檢測(cè)設(shè)備,正逐步打破國(guó)外品牌在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的設(shè)備支撐。未來(lái)隨著第三代半導(dǎo)體、Micro LED 等新興領(lǐng)域的崛起,對(duì)失效分析的要求將進(jìn)一步提升,而致晟光電的技術(shù)探索,無(wú)疑為行業(yè)提供了可借鑒的創(chuàng)新路徑。實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相分析系統(tǒng)鎖相紅外熱成像系統(tǒng)牌子紅外熱像儀捕獲這些溫度變化,通過(guò)鎖相技術(shù)提取微弱的有用信號(hào),提高檢測(cè)靈敏度。
電子產(chǎn)業(yè)的功率器件檢測(cè)中,電激勵(lì)的鎖相熱成像系統(tǒng)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,為功率器件的安全可靠運(yùn)行提供了有力保障。功率器件如 IGBT、MOSFET 等,在工作過(guò)程中需要承受大電流、高電壓,功耗較大,容易因內(nèi)部缺陷而產(chǎn)生過(guò)熱現(xiàn)象,進(jìn)而導(dǎo)致器件損壞,甚至引發(fā)整個(gè)電子系統(tǒng)的故障。通過(guò)施加接近實(shí)際工況的電激勵(lì),鎖相熱成像系統(tǒng)能夠模擬功率器件的真實(shí)工作狀態(tài),實(shí)時(shí)檢測(cè)器件表面的溫度分布。系統(tǒng)可以發(fā)現(xiàn)芯片內(nèi)部的熱斑、柵極缺陷、導(dǎo)通電阻異常等問(wèn)題,這些問(wèn)題往往是功率器件失效的前兆。檢測(cè)獲得的溫度分布數(shù)據(jù)還能為功率器件的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)提供重要參考,幫助工程師優(yōu)化器件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造工藝,提高產(chǎn)品的可靠性。例如,在新能源汽車(chē)的電機(jī)控制器功率器件檢測(cè)中,該系統(tǒng)能夠檢測(cè)出器件內(nèi)部的微小熱斑,提前預(yù)警潛在故障,保障新能源汽車(chē)的行駛安全。
光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EMMI)技術(shù)常被集成于同一檢測(cè)系統(tǒng),合稱(chēng)為光發(fā)射顯微鏡(PEM,PhotoEmissionMicroscope)。二者在原理與應(yīng)用上形成巧妙互補(bǔ),能夠協(xié)同應(yīng)對(duì)集成電路中絕大多數(shù)失效模式,大幅提升失效分析的全面性與效率。OBIRCH技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)在于,即便失效點(diǎn)被金屬層覆蓋形成“熱點(diǎn)”,其仍能通過(guò)光束照射引發(fā)的電阻變化特性實(shí)現(xiàn)精細(xì)檢測(cè)——這恰好彌補(bǔ)了EMMI在金屬遮擋區(qū)域光信號(hào)捕捉受限的不足。電激勵(lì)配合鎖相熱成像系統(tǒng),檢測(cè)精密電子元件缺陷。
通過(guò)大量海量熱圖像數(shù)據(jù),催生出更智能的數(shù)據(jù)分析手段。借助深度學(xué)習(xí)算法,構(gòu)建熱圖像識(shí)別模型,可快速準(zhǔn)確地從復(fù)雜熱分布中識(shí)別出特定熱異常模式。如在集成電路失效分析中,模型能自動(dòng)比對(duì)正常與異常芯片的熱圖像,定位短路、斷路等故障點(diǎn),有效縮短分析時(shí)間。在數(shù)據(jù)處理軟件中集成熱傳導(dǎo)數(shù)值模擬功能,結(jié)合實(shí)驗(yàn)測(cè)得的熱數(shù)據(jù),反演材料內(nèi)部熱導(dǎo)率、比熱容等參數(shù),從熱傳導(dǎo)理論層面深入解析熱現(xiàn)象,為材料熱性能研究與器件熱設(shè)計(jì)提供量化指導(dǎo)。在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域,電激勵(lì)與鎖相熱成像系統(tǒng)的結(jié)合,為金屬構(gòu)件疲勞裂紋的早期發(fā)現(xiàn)提供了有效手段。thermal鎖相紅外熱成像系統(tǒng)價(jià)格走勢(shì)
快速定位相比其他檢測(cè)技術(shù),鎖相熱成像技術(shù)能夠在短時(shí)間內(nèi)快速定位熱點(diǎn),縮短失效分析時(shí)間。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設(shè)備制造
鎖相熱成像系統(tǒng)借助電激勵(lì)在電子產(chǎn)業(yè)的微型電子元件檢測(cè)中展現(xiàn)出極高的靈敏度,滿(mǎn)足了電子產(chǎn)業(yè)向微型化、高精度發(fā)展的需求。隨著電子技術(shù)的不斷進(jìn)步,電子元件正朝著微型化方向快速發(fā)展,如微型傳感器、微型繼電器等,其尺寸通常在毫米甚至微米級(jí)別,缺陷也更加細(xì)微,傳統(tǒng)的檢測(cè)方法難以應(yīng)對(duì)。電激勵(lì)能夠在微型元件內(nèi)部產(chǎn)生微小但可探測(cè)的溫度變化,即使是納米級(jí)的缺陷也能引起局部溫度的細(xì)微波動(dòng)。鎖相熱成像系統(tǒng)結(jié)合先進(jìn)的鎖相技術(shù),能夠從強(qiáng)大的背景噪聲中提取出與電激勵(lì)同頻的溫度信號(hào),將微小的溫度變化放大并清晰顯示出來(lái),從而檢測(cè)出微米級(jí)的缺陷。例如,在檢測(cè)微型加速度傳感器的敏感元件時(shí),系統(tǒng)能夠發(fā)現(xiàn)因制造誤差導(dǎo)致的微小結(jié)構(gòu)變形,這些變形會(huì)影響傳感器的測(cè)量精度。這一技術(shù)的應(yīng)用,為微型電子元件的質(zhì)量檢測(cè)提供了有力支持,推動(dòng)了電子產(chǎn)業(yè)向微型化、高精度方向不斷發(fā)展。Thermo鎖相紅外熱成像系統(tǒng)設(shè)備制造