渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下,動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)(動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。啟動(dòng)快:渦輪分子泵能夠在短時(shí)間內(nèi)迅速啟動(dòng),并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)??股渚€照射:渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射,適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊:渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力,能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng):渦輪分子泵在工作過(guò)程中不會(huì)存儲(chǔ)氣體,也不會(huì)產(chǎn)生解吸效應(yīng),因此能夠獲得清潔的超高真空。無(wú)油蒸氣污染:渦輪分子泵采用無(wú)油潤(rùn)滑系統(tǒng),避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染。四、應(yīng)用領(lǐng)域如何選擇真空計(jì)才具有更高的性價(jià)比?河北電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
皮拉尼真空計(jì)利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個(gè)臂(電阻)。在測(cè)量過(guò)程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當(dāng)加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時(shí),由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進(jìn)一步升高。這一溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,通過(guò)惠斯通電橋測(cè)量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。南京金屬真空計(jì)公司電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)。
利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí),波紋管會(huì)產(chǎn)生變形,這種變形可以通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí),薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變,進(jìn)而通過(guò)測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。
微壓差真空計(jì)(差壓規(guī))測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差,量程1~10??Pa,精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀(氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控)和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。20.真空計(jì)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)①量子傳感器(NV色心測(cè)磁矩變化);②石墨烯膜規(guī)(理論極限10?12Pa);③片上集成(ASIC整合傳感與信號(hào)處理);④自供電無(wú)線真空計(jì)(能量收集技術(shù))。NIST正在開(kāi)發(fā)基于冷原子干涉的***真空基準(zhǔn),不確定度目標(biāo)0.01%。不同類型的真空計(jì)分別適用于哪些場(chǎng)景?
4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:中真空和高真空測(cè)量。5. 振膜式真空計(jì)振膜式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量振膜頻率變化來(lái)測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計(jì)原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:高精度真空測(cè)量。陶瓷真空計(jì)溫包款和無(wú)溫包款有什么區(qū)別?溫州陶瓷真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
皮拉尼真空計(jì)如何校準(zhǔn)?河北電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
真空計(jì)的安裝步驟可能因型號(hào)和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個(gè)基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計(jì)及其相關(guān)配件是否完整、無(wú)損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當(dāng)選擇真空計(jì)的安裝位置,以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí),應(yīng)確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜:將真空計(jì)的電源線電纜和規(guī)管電纜分別插入后面板的相應(yīng)插座上,并確保連接牢固可靠。對(duì)于裸規(guī)安裝,還需將紅線(紅夾子)接在電子加速極上,其他兩根線(黑夾子)接在燈絲上,屏蔽線接在離子收集極上。接地處理:為確保安全,應(yīng)將真空計(jì)的外殼進(jìn)行接地處理。這通常是通過(guò)將導(dǎo)線連接在機(jī)箱的接地端子上來(lái)實(shí)現(xiàn)的。調(diào)試與校準(zhǔn):在安裝完成后,需要對(duì)真空計(jì)進(jìn)行調(diào)試和校準(zhǔn),以確保其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。調(diào)試時(shí),應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)中的要求進(jìn)行操作,并注意觀察真空計(jì)的顯示情況。河北電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)