潔凈室的功能與空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)潔凈室是通過(guò)高效空氣過(guò)濾系統(tǒng)(HEPA/ULPA)與氣流控制技術(shù),將室內(nèi)空氣中的微粒(如塵埃、微生物)濃度控制在極低水平的封閉空間,其功能是為半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密光學(xué)等高精度生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)提供無(wú)污染環(huán)境。根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1,潔凈室按空氣中≥0.1μm微粒的濃度分為9個(gè)等級(jí)(ISO1至ISO9),其中ISO1級(jí)潔凈室每立方米空氣中≥0.1μm微粒數(shù)≤10個(gè),相當(dāng)于普通戶(hù)外環(huán)境的百萬(wàn)分之一;而ISO9級(jí)潔凈室則允許每立方米≤35,200,000個(gè)微粒,接近普通辦公室環(huán)境。以半導(dǎo)體制造為例,光刻工序需在ISO1級(jí)潔凈室中進(jìn)行,因?yàn)榭諝庵幸涣?.1μm的微粒就可能覆蓋整個(gè)芯片電路,導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢;而藥品灌裝則可在ISO5級(jí)(百級(jí))潔凈室中完成,通過(guò)層流保護(hù)確保藥液不受污染?,F(xiàn)代潔凈室還結(jié)合動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)顯示溫濕度、壓差、微粒濃度等參數(shù),為工藝控制提供數(shù)據(jù)支持。所有連接處采用焊接或法蘭密封,避免縫隙藏污。芯片潔凈室生產(chǎn)廠(chǎng)家
潔凈室設(shè)計(jì)對(duì)生產(chǎn)工藝的要求(1)潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級(jí)別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級(jí)和更高級(jí)別單向流潔凈區(qū)的面積。(2)在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè),把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。北京鋰電池潔凈室潔凈室內(nèi)的管道、風(fēng)管均采用保溫夾套設(shè)計(jì),外層包裹不銹鋼或PVC外殼,防止冷凝水滴落污染環(huán)境。
潔凈室的溫濕度控制與靜電防護(hù)措施潔凈室需同時(shí)控制溫濕度與靜電,以保障工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品安全。溫濕度控制方面,半導(dǎo)體制造通常要求溫度22℃±1℃、濕度45%RH±5%RH:溫度過(guò)高可能導(dǎo)致設(shè)備熱膨脹,影響加工精度;濕度過(guò)低則易產(chǎn)生靜電,吸附微粒;而生物醫(yī)藥潔凈室可能要求溫度18℃-26℃、濕度30%RH-70%RH,以適應(yīng)不同藥品的儲(chǔ)存需求。靜電防護(hù)方面,潔凈室通過(guò)以下措施降低靜電風(fēng)險(xiǎn):(1)地面鋪設(shè)防靜電地板(表面電阻1×10?-1×10?Ω),通過(guò)導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)將靜電導(dǎo)入大地;(2)墻面與設(shè)備外殼噴涂防靜電涂料(表面電阻<1×1012Ω),減少靜電積累;(3)人員穿戴防靜電無(wú)塵服(通過(guò)導(dǎo)電纖維將靜電導(dǎo)出),并佩戴防靜電手環(huán)(電阻1MΩ±10%),接觸設(shè)備前需觸摸接地柱釋放靜電;(4)空氣處理系統(tǒng)配置離子風(fēng)機(jī),通過(guò)電離空氣產(chǎn)生正負(fù)離子,中和物體表面靜電。例如,某液晶面板廠(chǎng)通過(guò)上述措施,將潔凈室內(nèi)靜電電壓從>1000V降至<100V,降低了面板生產(chǎn)中的靜電擊穿率。
光電顯示行業(yè):畫(huà)質(zhì)提升的秘密液晶面板、OLED屏幕等光電產(chǎn)品的生產(chǎn)對(duì)潔凈度高度敏感。中沃為某8.5代線(xiàn)面板廠(chǎng)設(shè)計(jì)的ISOClass4潔凈室,通過(guò)優(yōu)化風(fēng)道布局與氣流速度(0.45m/s±15%),將局部湍流強(qiáng)度降低至3%以下,使面板缺陷率從0.5%降至0.1%;同時(shí)采用防靜電PVC地板與無(wú)塵涂裝工藝,避免微塵吸附導(dǎo)致顯示亮點(diǎn)。項(xiàng)目投產(chǎn)后,客戶(hù)產(chǎn)品市占率躍居行業(yè)前? 三。食品與化妝品:安全與品質(zhì)的雙重守護(hù)潔凈室在食品與化妝品行業(yè)的應(yīng)用日益廣。中沃為嬰幼兒配方奶粉廠(chǎng)建造的ISOClass7潔凈室,通過(guò)正壓控制與高效過(guò)濾,將生產(chǎn)區(qū)微生物濃度控制在≤50CFU/m3,遠(yuǎn)低于國(guó)標(biāo)要求;在化妝品領(lǐng)域,ISOClass6潔凈室可防止膏霜產(chǎn)品因微生物污染導(dǎo)致變質(zhì),延長(zhǎng)保質(zhì)期。某乳企通過(guò)引入中沃潔凈室,產(chǎn)品抽檢合格率提升至99.9%,品牌口碑明顯增強(qiáng)。天花板采用盲板吊頂系統(tǒng),由可拆卸的鋁合金盲板與高效過(guò)濾器組成,便于維護(hù)與更換過(guò)濾器。
無(wú)塵室/潔凈室基本工作原理:1.凈化廠(chǎng)房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀(guān)、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果良好的阻燃型膠塑保溫棉。4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀(guān)清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔5。凈化參數(shù)A換氣次數(shù):為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量,按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算或按室內(nèi)發(fā)塵量進(jìn)行計(jì)算。中沃電子潔凈室,為精密制造筑牢無(wú)塵屏障。杭州潔凈室工程
十萬(wàn)級(jí)潔凈室主要性能參數(shù): 溫度范圍:18℃~28℃,可調(diào)節(jié)。 塵粒允許數(shù)(≥5μm):20000個(gè)。芯片潔凈室生產(chǎn)廠(chǎng)家
(一)單向流無(wú)塵室/潔凈室(1-5級(jí))1-5級(jí)的潔凈室,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即潔凈室內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使清潔空氣象“活塞”一樣,將室內(nèi)的塵埃粒子以快的速度帶走。要實(shí)現(xiàn)“活塞”的效果,高效過(guò)濾器需要布滿(mǎn)率在80%以上,才可實(shí)現(xiàn)單向流的氣流組織方式。(二)非單向流無(wú)塵室/潔凈室(6-9萬(wàn)級(jí))6-9級(jí)無(wú)塵室/潔凈室的氣流組織方向和5級(jí)以上的潔凈室不同,室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)的,伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現(xiàn)凈化。不同的凈化等級(jí),主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)的。芯片潔凈室生產(chǎn)廠(chǎng)家