鍍膜材料的汽化或離化:
根據(jù)鍍膜工藝的不同,主要有以下兩種方式使鍍膜材料轉(zhuǎn)化為可沉積的粒子:
蒸發(fā)鍍膜(物理的氣相沉積 PVD 的一種)原理:通過加熱鍍膜材料(如金屬、合金、氧化物等),使其從固態(tài)直接汽化或升華為氣態(tài)原子 / 分子。
加熱方式:
電阻加熱:利用電阻絲或石墨舟等發(fā)熱體直接加熱鍍膜材料。
電子束加熱:通過電子槍發(fā)射高能電子束轟擊鍍膜材料,使其快速汽化(常用于高熔點材料,如鎢、鉬等)。
感應加熱:利用電磁感應原理使鍍膜材料內(nèi)部產(chǎn)生渦流而發(fā)熱汽化。
濺射鍍膜(另一種常見的 PVD 工藝)原理:在真空腔室中通入惰性氣體(如氬氣),并在靶材(鍍膜材料制成的靶)和工件之間施加高壓電場,使氬氣電離產(chǎn)生氬離子(Ar?)。
關鍵過程:氬離子在電場作用下高速轟擊靶材表面,通過動量傳遞將靶材原子 / 分子濺射出(稱為 “濺射”)。濺射出的靶材粒子(原子、分子或離子)帶有一定能量,向工件表面遷移。 設備配備分子泵或擴散泵,可快速抽氣至10?? Pa以下的高真空狀態(tài)。浙江防紫外線真空鍍膜設備廠家
環(huán)保與節(jié)能低污染:與一些傳統(tǒng)的鍍膜工藝相比,真空鍍膜設備在鍍膜過程中不使用大量的化學溶劑和電鍍液,減少了廢水、廢氣和廢渣的排放,對環(huán)境的污染較小。例如傳統(tǒng)的電鍍工藝會產(chǎn)生含有重金屬離子的廢水,處理難度大且成本高,而真空鍍膜則基本不存在此類問題。節(jié)能高效:真空鍍膜設備通常采用先進的加熱技術和能源管理系統(tǒng),能夠在較低的能耗下實現(xiàn)鍍膜過程。同時,其鍍膜速度相對較快,生產(chǎn)效率高,可以在較短的時間內(nèi)完成大量工件的鍍膜,降低了單位產(chǎn)品的能耗和生產(chǎn)成本。浙江手機屏真空鍍膜設備現(xiàn)貨直發(fā)蒸發(fā)鍍膜利用電阻或電子束加熱材料,使其氣化后凝結(jié)于基片表面。
工具與機械行業(yè)
切削工具涂層
應用場景:鉆頭、銑刀的TiN、TiAlN硬質(zhì)涂層。
技術需求:高硬度、低摩擦的薄膜,需多弧離子鍍或磁控濺射。
模具與零部件
應用場景:注塑模具的DLC(類金剛石)涂層、汽車零部件的耐磨涂層。
技術需求:耐高溫、耐磨損的薄膜,需PVD或PECVD技術。
汽車與航空航天行業(yè)
汽車零部件
應用場景:車燈反射鏡的鍍鋁層、發(fā)動機零部件的耐磨涂層。
技術需求:耐高溫、耐腐蝕的薄膜,需PVD或CVD技術。
航空航天材料
應用場景:飛機發(fā)動機葉片的熱障涂層、衛(wèi)星部件的防輻射涂層。
技術需求:高溫穩(wěn)定性、抗輻射的薄膜,需EB-PVD或CVD技術。
電子束蒸發(fā)鍍膜設備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發(fā)并沉積在基片上。應用:主要用于鍍制多層精密光學膜,如AR膜、長波通、短波通等,廣泛應用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學鏡頭等產(chǎn)品。離子鍍真空鍍膜設備:原理:通過離子轟擊靶材或基片,促進靶材物質(zhì)的濺射和基片表面的反應,形成薄膜。應用:可用于制備高硬度的涂層,提高材料的耐磨性和耐腐蝕性。多弧離子鍍膜設備:原理:利用弧光放電產(chǎn)生的高溫使靶材蒸發(fā)并離子化,然后通過電場加速沉積在基片上。應用:適用于制備硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具等。設備自動化程度高,集成PLC控制系統(tǒng),支持工藝參數(shù)實時監(jiān)測與調(diào)整。
精確的厚度控制:真空鍍膜設備可以通過精確控制鍍膜時間、蒸發(fā)速率、氣體流量等參數(shù),實現(xiàn)對膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應用場景對膜層厚度的嚴格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質(zhì)膜來實現(xiàn)特定的電學性能,真空鍍膜設備可以將膜層厚度控制在納米級精度。優(yōu)異的附著力:由于真空環(huán)境下基體表面清潔度高,且鍍膜粒子具有較高的能量,使得膜層與基體之間能夠形成良好的結(jié)合力,膜層不易脫落。例如在刀具表面鍍膜,高附著力的膜層可以在刀具切削過程中保持穩(wěn)定,發(fā)揮其耐磨、潤滑等性能,延長刀具使用壽命。其部件包括真空腔體、蒸發(fā)源及膜厚監(jiān)控系統(tǒng),確保工藝精度。浙江手機殼真空鍍膜設備供應商家
智能報警系統(tǒng)實時監(jiān)測真空度、溫度等參數(shù),異常時自動停機保護。浙江防紫外線真空鍍膜設備廠家
膜體材料的釋放:在真空環(huán)境中,膜體材料通過加熱蒸發(fā)或濺射的方式被釋放出來。蒸發(fā)過程是通過加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子;濺射過程則是利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。分子的沉積:蒸發(fā)或濺射出的膜體分子在真空室內(nèi)自由飛行,并終沉積在基材表面。在沉積過程中,分子會經(jīng)歷吸附、擴散、凝結(jié)等階段,終形成一層或多層薄膜。鍍膜完成后的冷卻:鍍膜完成后,需要對真空鍍膜機進行冷卻,使薄膜在基材上固化。這一過程有助于增強薄膜與基材的結(jié)合力,提高薄膜的穩(wěn)定性和耐久性。浙江防紫外線真空鍍膜設備廠家