激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業(yè)產品已服務國內外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]?，F代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數 [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術參數包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%吳江區(qū)耐用雙頻激光干涉儀選擇通過分析干涉條紋的變化，可以得到被測物體的位移信息。

激光干涉儀具有廣泛的應用領域，包括但不限于：科學研究：用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造：用于精密機械加工、質量控制和機床校準等。在機床校準中，激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及速度、加速度、振動等參數，并評估機床的動態(tài)特性。計量學：用于長度標準的校準。通信：用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度：激光干涉儀能夠實現亞納米級的測量精度，非常適合各種高精度測量應用。

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中。

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。高新區(qū)銷售雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保

若干涉條紋發(fā)生移動，一定是場點對應的光程差發(fā)生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發(fā)生變化，或是光路中某段介質的折射率n發(fā)生了變化，或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節(jié)其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。蘇州本地雙頻激光干涉儀維保

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