標準漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec = 0.1Pa.m3/sec = 1/標準體積) = 59.23scc/min、1mbar.L/sec ≈ 1cc/sec, 直觀的來說, 1mbar.L/sec ≈ 1秒鐘泄漏1cc標準體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為X mbar.L/s,換算成克/年見如下公式:X mbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m *(1/1.013)(克/年),漏孔壓力:一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓:1個大氣壓+表壓。標準漏孔的漏率范圍可滿足不同檢測需求 。河南全系列標準漏孔技術(shù)
標準漏孔的運輸過程需要避免劇烈震動和碰撞,防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會采用防震包裝,并標注 “輕放” 標識,以減少運輸對其性能的潛在影響。氣體壓力差是標準漏孔工作的必要條件,通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動過大會導致泄漏率不穩(wěn)定,因此實際應用中需配備壓力調(diào)節(jié)與穩(wěn)定裝置。長期未使用的標準漏孔在啟用前,應進行預熱和通氣處理,排除內(nèi)部殘留的雜質(zhì)氣體,使漏孔內(nèi)部狀態(tài)達到穩(wěn)定,確保測量的準確性。上海鹵素標準漏孔的價格標準漏孔存放需遠離磁場等干擾源。
標準漏孔是專門用于測量校驗檢漏儀或檢漏系統(tǒng)中的靈敏度或者精度,標準漏孔可以和檢漏儀或檢漏系統(tǒng)平行連接,檢漏儀檢漏系統(tǒng)能夠識別到標準漏孔上的標稱泄漏量,即可簡單、快速的來判定檢漏系統(tǒng)的狀態(tài)。標準漏孔一般為抗震抗摔、不易堵塞、漏率穩(wěn)定、可重復利用充氣等優(yōu)點,標準漏孔種類繁多,針對每個產(chǎn)品應用領(lǐng)域都要滿足具體的技術(shù)要求和應用場景。不同應用行業(yè),不同的檢漏儀器類型漏孔種類也比較多樣性,分類方式也多種多樣。
蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬,不確定度較小的正壓漏率校準裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗用正壓漏孔校準裝置。并與今年正式立項建立正壓漏孔校準裝置,涵蓋了專題中第二,三種正壓漏孔的校準。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準校準裝置,并通過CNAC實驗室認證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標準漏孔的校準服務,在長期的校準過程中驗證了裝置和校準規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準規(guī)范做好了技術(shù)準備。標準漏孔應避免接觸各類腐蝕性氣體介質(zhì)。
檢漏方法:人們對于泄漏的檢測很早就已經(jīng)出現(xiàn),檢漏方法也經(jīng)歷了從簡單的定性檢測到現(xiàn)代復雜的定量檢測過程。檢漏方法根據(jù)被檢設備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體,在被檢件外面用適當?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o示蹤氣體漏出、從哪兒漏出、漏出量多少等,進而判斷被檢件有無泄漏點,泄漏點的位置和大小。屬于這種方法的有壓降法、氣泡法、鹵素檢漏儀外探頭法、鹵素噴燈法、加壓滲透法、聲波法、紅外線熱圖像法、稱質(zhì)量法、放射性同位素法。真空檢漏法被檢件內(nèi)部抽成真空后,將示蹤氣體施于被檢件外部,如果被檢件器壁上有漏,示蹤氣體通過泄漏點進入被檢件內(nèi)部,利用某種方法將漏進的示蹤氣體檢測出來,從而判斷出泄漏點的位置和漏率大小。屬于這種方法的有靜態(tài)升壓法、放電管法、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法、各類真空計法、離子泵檢漏法、氦質(zhì)譜噴吹和氦罩檢漏法等。標準漏孔在半導體制造檢漏中經(jīng)常使用。上海冷媒漏孔特點
漏孔大小直接決定泄漏量及影響程度。河南全系列標準漏孔技術(shù)
壓差式標準漏孔在此是指壓差檢漏系統(tǒng)(泄漏儀)中用來模擬被檢產(chǎn)品泄漏的漏孔,它的使用方式和正壓漏孔相近,只是一般漏率比較大,在(0.1-1000)SCCM。漏率單位一般采用SCCM或SLM。介質(zhì)也一般為空氣或氮氣。該類型的標準漏孔主要配合檢漏儀使用,漏率值得大小主要由被檢產(chǎn)品的漏率指標確定,是產(chǎn)品檢漏的定量標準和檢漏的保證。在國內(nèi)許多省市級計量院所和檢漏儀生產(chǎn)廠家已經(jīng)長期開展此項校準活動,但該產(chǎn)品的校準需要考慮流量,大氣壓力,壓力,氣體特性和漏率綜合知識和標準,到目前為止還沒有一家能夠比較全,嚴謹?shù)亻_展過研究。對于許多企業(yè)標準和地方標準,錯誤和疏漏的方面很多,需要大量的工作才能夠完成該項工作。河南全系列標準漏孔技術(shù)
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