氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化,而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí),這個(gè)分流比會(huì)有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s,說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的,可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上,包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的,而是用戶購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔,盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率,東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔需按規(guī)范定期進(jìn)行性能校準(zhǔn)與核查。天津滲氦漏孔生產(chǎn)廠家
差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平,它是精確測(cè)量微量物品質(zhì)量的測(cè)量工具。使用者通過(guò)仔細(xì)調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達(dá)到嚴(yán)格平衡,這樣被測(cè)物的質(zhì)量就可通過(guò)砝碼反映出來(lái)。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣,首先我們將相同壓力的氣體同時(shí)充入到被測(cè)物和基準(zhǔn)物內(nèi),使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等,然后觀察其平衡情況。若被測(cè)物不漏,那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測(cè)物存在泄漏,那么它內(nèi)部的壓力會(huì)逐漸降低,平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測(cè)出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且,如果發(fā)生泄漏,泄漏率(ml/sec)的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。杭州全系列漏孔參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔在醫(yī)療設(shè)備檢漏中作用重要。
溫度對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)漏孔的性能有著明顯的影響,多數(shù)的漏孔需在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)來(lái)使用,以保證泄漏率的穩(wěn)定性。部分高精度漏孔會(huì)配備溫度補(bǔ)償裝置,從而減少環(huán)境溫度波動(dòng)的影響。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要依托正規(guī)計(jì)量機(jī)構(gòu),通過(guò)與更高等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)裝置來(lái)比對(duì),確定其實(shí)際泄漏率,并出具校準(zhǔn)證明,確保量值的溯源性。長(zhǎng)期存放的標(biāo)準(zhǔn)漏孔需注意防潮、防塵,避免通道堵塞或材料老化。使用前應(yīng)檢查外觀是否完好,必要時(shí)進(jìn)行重新校準(zhǔn),確保性能符合要求。
檢漏方法:人們對(duì)于泄漏的檢測(cè)很早就已經(jīng)出現(xiàn),檢漏方法也經(jīng)歷了從簡(jiǎn)單的定性檢測(cè)到現(xiàn)代復(fù)雜的定量檢測(cè)過(guò)程。檢漏方法根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體,在被檢件外面用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o(wú)示蹤氣體漏出、從哪兒漏出、漏出量多少等,進(jìn)而判斷被檢件有無(wú)泄漏點(diǎn),泄漏點(diǎn)的位置和大小。屬于這種方法的有壓降法、氣泡法、鹵素檢漏儀外探頭法、鹵素噴燈法、加壓滲透法、聲波法、紅外線熱圖像法、稱質(zhì)量法、放射性同位素法。真空檢漏法被檢件內(nèi)部抽成真空后,將示蹤氣體施于被檢件外部,如果被檢件器壁上有漏,示蹤氣體通過(guò)泄漏點(diǎn)進(jìn)入被檢件內(nèi)部,利用某種方法將漏進(jìn)的示蹤氣體檢測(cè)出來(lái),從而判斷出泄漏點(diǎn)的位置和漏率大小。屬于這種方法的有靜態(tài)升壓法、放電管法、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法、各類真空計(jì)法、離子泵檢漏法、氦質(zhì)譜噴吹和氦罩檢漏法等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是真空技術(shù)領(lǐng)域重要的基礎(chǔ)工具。
檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個(gè)組成部分,與檢漏儀的精確度息息相關(guān), 檢漏儀器在檢測(cè)的過(guò)程中是用來(lái)校準(zhǔn)其精度的一種標(biāo)準(zhǔn)漏率。 通過(guò)來(lái)比較檢漏儀對(duì)這些標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的響應(yīng)值與實(shí)際尺寸上的差異, 可以評(píng)估檢漏儀的檢測(cè)準(zhǔn)確度和它的穩(wěn)定性,在檢漏儀的檢測(cè)過(guò)程中, 由于受到了環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響,檢漏儀的檢測(cè)結(jié)果可能會(huì)出現(xiàn)誤差。此時(shí)若采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn), 便可以提高檢測(cè)儀器的準(zhǔn)確性和可靠性。標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用壓力不能超過(guò)額定值 。河北滲氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔穩(wěn)定性
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率穩(wěn)定性直接影響檢測(cè)精度 。天津滲氦漏孔生產(chǎn)廠家
正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔,在正壓檢漏中,要考慮通過(guò)漏孔的質(zhì)量泄漏,更要考慮與環(huán)境的熱能交換。換言之,就是正壓檢漏及正壓漏孔校準(zhǔn)受溫度的影響較為嚴(yán)重。而真空檢漏壓力一般在1Pa及以下,受溫度影響小。正壓檢漏往往需要在不同的壓力條件下進(jìn)行,所以也必須對(duì)正壓漏孔在該條件下進(jìn)行校準(zhǔn)。而真空漏孔一般的校準(zhǔn)條件是進(jìn)口壓力為一個(gè)大氣壓,出口壓力為真空,狀態(tài)較為簡(jiǎn)單。和真空檢漏一般使用氦氣不同,正壓檢漏往往可以使用氦氣、空氣、氮?dú)獾葰怏w,所以需要用不同氣體對(duì)正壓漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。正是由于以上原因,對(duì)正壓漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)提出了新的、更高的要求,需要進(jìn)一步開(kāi)展研究工作,提出測(cè)量范圍寬,不確定度小的正壓漏孔校準(zhǔn)方法,研制校準(zhǔn)裝置。同時(shí),真空漏孔和正壓漏孔的校準(zhǔn)是不同壓力條件下的漏率校準(zhǔn),所以真空漏孔的校準(zhǔn)技術(shù)也很值得借鑒。天津滲氦漏孔生產(chǎn)廠家
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