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檢漏儀內(nèi)置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一個組成部分,與檢漏儀的精確度息息相關(guān), 檢漏儀器在檢測的過程中是用來校準其精度的一種標準漏率。 通過來比較檢漏儀對這些標準漏孔進行檢測時的響應(yīng)值與實際尺寸上的差異, 可以評估檢漏儀的檢測準確度和它的穩(wěn)定性,在檢漏儀的檢測過程中, 由于受到了環(huán)境、物質(zhì)等各種因素的影響,檢漏儀的檢測結(jié)果可能會出現(xiàn)誤差。此時若采用標準漏孔進行校準, 便可以提高檢測儀器的準確性和可靠性。標準漏孔應(yīng)避免頻繁拆卸和安裝。武漢全系列漏孔什么氣源
差壓檢漏法差壓檢漏法的原理啟蒙于醫(yī)用天平,它是精確測量微量物品質(zhì)量的測量工具。使用者通過仔細調(diào)整天平一端的砝碼使兩端達到嚴格平衡,這樣被測物的質(zhì)量就可通過砝碼反映出來。差壓氣密檢漏儀的原理同天平一樣,首先我們將相同壓力的氣體同時充入到被測物和基準物內(nèi),使差壓傳感器隔離板兩邊的壓力完全相等,然后觀察其平衡情況。若被測物不漏,那么差壓傳感器隔離板兩邊的壓力將保持平衡。如果被測物存在泄漏,那么它內(nèi)部的壓力會逐漸降低,平衡就被破壞。這樣傳感器就可以檢測出隔離板兩側(cè)因泄漏產(chǎn)生的差壓。而且,如果發(fā)生泄漏,泄漏率(ml/sec)的大小將直接反映在兩側(cè)壓力的失衡速度上。濟南可調(diào)標準漏孔出口多大漏孔檢測前需明確檢測范圍及標準。
滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感;長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定;漏率可以做得很小。滲氦型標準漏孔的充裝氣體為氦氣,其漏率范圍一般在10負5-10負13Pa·m3/s之間。此外,滲氦型標準漏孔的示值允許偏差為±15%,溫度補償約為3%/°C,并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性,出口閥門為手動(選配),接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制,出口為真空,可重復充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異,例如,對于10-7Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于3%/y;以此類推,直到10-12Pa·m3/s的漏率,年衰減率小于或等于0.1%/y。
蘭州510所建立了國內(nèi)測量范圍較寬,不確定度較小的正壓漏率校準裝置。計量院在2010年前后也搭建了一套試驗用正壓漏孔校準裝置。并與今年正式立項建立正壓漏孔校準裝置,涵蓋了專題中第二,三種正壓漏孔的校準。上海市計量測試技術(shù)研究院在2004年建立國內(nèi)一套正常開展量值溯源的正壓漏率校準校準裝置,并通過CNAC實驗室認證。近幾年來該裝置每年完成超過500件標準漏孔的校準服務(wù),在長期的校準過程中驗證了裝置和校準規(guī)范在量值的不確定度、長期穩(wěn)定性方面的成熟。為國內(nèi)起草該范圍的正壓漏孔的校準規(guī)范做好了技術(shù)準備。標準漏孔是真空技術(shù)領(lǐng)域重要的基礎(chǔ)工具。
標準漏孔的校準周期需根據(jù)使用情況確定,頻繁使用或在惡劣環(huán)境下工作的漏孔,校準周期應(yīng)適當縮短,一般建議不超過一年,以保證量值的可靠性。不同結(jié)構(gòu)的標準漏孔對安裝角度有不同要求,部分漏孔需水平或垂直安裝,以避免重力對氣體流動產(chǎn)生影響。安裝時需參照說明書,確保姿態(tài)符合規(guī)范。標準漏孔的外殼通常采用金屬材料,具有良好的抗壓和耐溫性能,可適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場的復雜環(huán)境。外殼表面一般會標注型號、標稱泄漏率等關(guān)鍵信息,方便識別與使用。標準漏孔可用于教學實驗中的演示環(huán)節(jié)。鹵素標準漏孔偏差
標準漏孔老化會導致漏率發(fā)生明顯變化 。武漢全系列漏孔什么氣源
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進行量化,而到達質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分,這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時,這個分流比會有變化,檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程:例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s,說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準確的,可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行標定。事實上,包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的,而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s,經(jīng)過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購外置標準漏孔,盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率,東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。武漢全系列漏孔什么氣源
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